Ge-Sb-Te系による新規組成の薄膜作製および評価
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概要
著者
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不破 章雄
早稲田大学 大学院 理工学研究科
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森 暁
三菱マテリアル
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石崎 貴裕
早稲田大学大学院理工学研究科
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森 暁
三菱マテリアル株式会社三田工場
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鈴木 友宏
早稲田大学大学院理工学研究科
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不破 章雄
早稲田大学大学院理工学研究科
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不破 章雄
早稲田大学理工学部物質開発工学科
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不破 章雄
早稲田大学理工学部材料工学科
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不破 章雄
早稲田大学 創造理工学研究科
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