Ge-Sb-Te系による新規組成の薄膜作製および評価

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概要

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• 日本金属学会の論文
• 2004-02-20

著者

• 不破 章雄

  早稲田大学 大学院 理工学研究科

• 森 暁

  三菱マテリアル

• 石崎 貴裕

  早稲田大学大学院理工学研究科

• 森 暁

  三菱マテリアル株式会社三田工場

• 鈴木 友宏

  早稲田大学大学院理工学研究科

• 不破 章雄

  早稲田大学大学院理工学研究科

• 不破 章雄

  早稲田大学理工学部物質開発工学科

• 不破 章雄

  早稲田大学理工学部材料工学科

• 不破 章雄

  早稲田大学 創造理工学研究科

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