半経験的分子軌道法によるSi_2Cl_6-H_2系CVD反応の素過程の予測
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概要
著者
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齋藤 永宏
早大理工
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不破 章雄
早大理工
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不破 章雄
早稲田大学 大学院 理工学研究科
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齋藤 永宏
早稲田大学大学院理工学研究科
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不破 章雄
早稲田大学理工学部材料工学科
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不破 章雄
早稲田大学 創造理工学研究科
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