高周波マグネトロンスパッタリング法によるGe-Sb-Te薄膜の作製及び評価
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概要
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- 2003-03-27
著者
-
不破 章雄
早大理工
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荒木 崇
早大・理工
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不破 章雄
早大・理工
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鈴木 友宏
早大・理工
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森 暁
三菱マテリアル
-
森 暁
三菱マテリアル株式会社三田工場
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鈴木 友宏
早稲田大学大学院理工学研究科
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不破 章雄
早稲田大学大学院理工学研究科
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不破 章雄
早稲田大学 理工学部 物質開発工学科
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不破 章雄
早稲田大学理工学部物質開発工学科
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不破 章雄
早稲田大学理工学部材料工学科
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