減圧沸騰噴霧を用いたCDV成膜のための新気化供給法の構築 : 第1報 蒸気濃度分布の空間的な均一性

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概要

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• 2002-12-19

著者

• 三好 一也

  同志社大・院

• 千田 二郎

  同志社大・工

• 藤本 元

  同志社大・工

• 矢川 雄一

  (株)クボタ

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