強誘電体薄膜のマイクロアクチュエーターへの応用
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概要
著者
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一ノ瀬 昇
早稲田大学 理工学術院
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一ノ瀬 昇
(社)未踏科学技術協会
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眞岩 宏司
湘南工科大学工学部
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眞岩 宏司
湘南工科大学工学部人間環境学科
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一ノ瀬 昇
早稲田大学 理工学総合研究センター
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一ノ瀬 昇
早稲田大学理工学部物質開発工学科
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