次世代LSIデバイス技術の将来展望とCMP技術への期待

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概要

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• 2000-03-01

著者

• 林 喜宏

  NEC シリコンシステム研究所

• 林 喜宏

  Nec シリコンシステム研究所 超高集積回路研究部

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