低誘電率媒体としてのアモルファス窒化炭素薄膜

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概要

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• 2002-07-10

著者

• 仁田 昌二

  岐阜大工

• 仁田 昌二

  岐阜大

• 青野 祐美

  防衛大材料

• 青野 祐美

  岐阜大工

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