アルミ磁気ディスク基板のサブナノメータ超平滑ポリシングの高能率化(続報):コロイダルシリカを用いた高速度・高圧力ポリシング特性の検討

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概要

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• 2002-03-01

著者

• 安井 平司

  熊本大学大学院自然科学研究科

• 坂本 重彦

  熊本大

• 坂本 重彦

  熊本大学

• 深町 朋彦

  熊本大院

• 安井 平司

  熊本大学 工学部

• 安井 平司

  熊本大学

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