III-V族化合物半導体成長のμ-RHEED実時間観測
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概要
著者
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井須 俊郎
三菱電機株式会社先端技術総合研究所
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森下 義隆
光技術研究開発株式会社
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野村 康彦
光技術研究開発株式会社
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五島 滋雄
光技術研究開発株式会社
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畑 雅幸
光技術研究開発株式会社つくば研究所
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渡辺 明禎
光技術研究開発株式会社つくば研究所
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片山 良史
光技術研究開発株式会社つくば研究所
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井須 俊郎
三菱電機 中研
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畑 雅幸
三洋電機株式会社 フロンティアデバイス研究所
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野村 康彦
三洋電機(株)マイクロエレクトロニクス研究所
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井須 俊郎
三菱電機株式会社中央研究所
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畑 雅幸
三洋電機株式会社フロンティアデバイス研究所
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野村 康彦
三洋電機
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