バイアス印加を併用した熱フィラメントCVD法による多層ダイヤモンド膜の合成と機械的特性評価
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概要
著者
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竹内 貞雄
日本工業大学大学院工学研究科
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竹内 貞雄
日本工業大学工学部
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村川 正夫
日本工業大学
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竹内 貞雄
日本工大
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竹内 貞雄
日本工業大学
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竹内 貞夫
日本工業大学工学部
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小田 澄嗣
日本工業大学 先端材料技術研究センター
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