TiN 薄膜の酸化溶解による銅の置換析出挙動
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概要
著者
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平藤 哲司
京都大学大学院 工学研究科 材料工学専攻
-
邑瀬 邦明
京都大学大学院 工学研究科
-
粟倉 泰弘
京都大学大学院 工学研究科
-
邑瀬 邦明
Department Of Materials Science And Engineering Kyoto University
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平藤 哲司
東北大学 多元物質科学研究所
-
粟倉 泰弘
京都大学大学院工学研究科材料工学専攻
-
粟倉 泰弘
京都大学
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古田 成生
京都大学大学院 工学研究科
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平藤 哲司
京都大学大学院 工学研究科
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