電子線励起SiO_2分解によって形成された結晶性Siナノ構造

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概要

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• 2000-05-01

著者

• 竹口 雅樹

  物材機構

• 竹口 雅樹

  金属材料技術研究所

• 古屋 一夫

  金属材料技術研究所

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