GMR膜用Co/Cu多層膜のFIBによる微細加工

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概要

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• 1998-09-01

著者

• 中川 活二

  日大理工・先端材料科学センター

• 伊藤 彰義

  日大理工・先端材料科学センター

• 伊藤 彰義

  日本大学理工学部・電子情報工学科

• 永井 浩史

  日大院

• 新實 研二

  日大院

• 蜂谷 充弘

  日大院

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