MOCVD法によるBi_4Ti_3O_<12>薄膜の低温形成とその電気的特性

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概要

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• 電気学会の論文

著者

• 木島 健

  シャープ株式会社 機能デバイス研究所

• 松永 宏典

  シャープ株式会社機能デバイス研究所

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