クリーンルーム空気中の有機物による表面汚染
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 1995-04-30
著者
-
坂本 和彦
埼玉大学工学部応用化学科
-
鈴木 作
(株)荏原総合研究所
-
藤井 敏昭
(株)荏原総合研究所
-
藤井 敏昭
(株)荏原製作所
-
小川 亜矢子
日本板硝子(株)
-
藤井 敏昭
(株) 荏原製作所
-
鈴木 作
(株) 荏原製作所
-
坂本 和彦
埼玉大学工学部
関連論文
- No.60 廃棄木質系バイオマスの炭化処理温度条件による各種炭化生成物への影響(重質油・バイオマス・コプロセッシング(3))
- 環境クズネッツ曲線からみた北京の大気汚染と制御戦略
- 超純水電解加工(超純水のみによる電気化学的加工方法)のCuダマシン平坦化プロセスへの適用開発
- 3B1018 北関東の高濃度光化学オキシダント事例における気塊流跡解析(5物質-1ガス状物質,一般研究発表)
- 3A1336 大気微小粒子中のレボグルコサンと炭素成分に関する調査(5物質-2粒子状物質,一般研究発表)
- 3A1324 エアロゾル質量分析計とアニューラデニューダー-フィルターパック法による都市近郊大気観測(5物質-2粒子状物質,一般研究発表)
- 3A1300 JATOP2008年度夏季PM2.5観測の概要(5物質-2粒子状物質,一般研究発表)
- 3A1040 関東内陸部における水溶性有機エアロゾル成分の季節特性(5物質-2粒子状物質,一般研究発表)
- 汚染産業移転仮説と環境政策選択 : 地域間経済格差からみた中国の環境問題
- 光触媒を用いたUV/光電子法による密閉空間の超清浄化
- UV/光電子法を用いた減圧下での微粒子除去
- クリーンルームにおける空気清浄--UV/光電子法による局所空間の超クリーン化
- クリ-ンル-ム環境における汚染物の制御--UV/光電子法による超クリ-ン空間の創出
- エチレン化学発光法によるオゾン測定に対する酸素,アルゴン及び二酸化炭素の干渉
- ウェハ保管環境の MOS デバイス特性への影響
- ディーゼル排気粒子中多環芳香族炭化水素の排出特性 : 酸化触媒の効果
- 中国における省別部門別細分化エネルギー消費と環境排出に関する分析・予測モデルの開発
- 暗反応条件下でのペルオキシアセチル硝酸(PAN)の熱分解による一酸化窒素およびプロペンの酸化促進に対する温度の影響 -シミュレーションによる検討
- 機器分析におけるピーク相互情報量の利用
- 屋外, 屋内大気環境における鋼の腐食特性の比較
- コンピューター制御二次導関数法分光光度計による精製空気及び高純度窒素中の一酸化窒素の定量
- クリーンルーム空気中の有機物による表面汚染
- 微小粒子状物質(PM2.5)に関する最近の動向と環境基準
- 大容量計量管を用いた多次元ガスクロマトグラフィーによる自動車排出ガス中の炭化水素成分の分析法の開発
- 加熱ステンレスシリンジを用いた自動車排出ガス中の炭化水素分析用捕集装置の試作
- 中国における鉄鋼製造エネルギー消費の現況分析及びその国際比較
- 半導体搬送ボックスのUV/光電子法によるクリーン化とMOSデバイスへの影響
- 3K1045 局所空間の超クリーン化
- 3K1030 光触媒による有機ガス除去機構の検討
- 光と電子が作るアメニティ--人,食品,ウエハに対する快適環境
- 光と電子が作るアメニティ -人, 食品, ウエハに対する快適環境-
- クリームルーム内ガス状汚染物質の粒子化除去
- UV/触媒とUV/光電子法を利用したガス状汚染物質ならびに微粒子の同時除去技術
- クリーンルームにおける空気清浄 -局所空間の超クリーン化-
- UV/光電子法による多分散粒子の帯電法とその利用
- UV/光電子法によるガスと粒子の同時除去--局所空間の超クリ-ン化
- 光触媒とUV/光電子法によるガスと微粒子の同時除去
- UV/光電子法による壁面付着微粒子の除去の促進
- 空気清浄化技術におけるUV光の複合的利用 -微粒子/微量ガス成分の同時除去への適用-
- クリーンルームにおけるガスと粒子の同時除去
- UV/光電子法による管型微粒子除去装置の性能評価
- UV/光電子法による清浄空間中発塵の除去
- UV/光電子クリーニング法の半導体搬送ボックスへの応用 (特集 酸化チタン光触媒の実用技術最前線) -- (応用開発事例)
- 「中国南西地域の石炭燃焼によるSO_2対策」
- 9-13.近年中国におけるエネルギー消費状況の解析((4)国際エネルギー需給,Session 9 エネルギー評価・経済)
- 負イオンによるアメニテイおよびリフレッシュ
- 300mmウエハ搬送ボックスのクリーン化--光触媒とUV/光電子法によるウエハ表面の汚染防止
- 酸性土壌におけるバイオブリケット燃焼灰と豚糞堆肥の同時施用が植物成長へ及ぼす影響
- 微小粒子状物質(PM_)の測定
- 多重管デニューダを用いた微小粒子中の有機炭素測定法の比較
- 特集にあたって
- 微小粒子状物質(PM_)入門
- コンポストの腐熟度判定へのゲルパーミエーションクロマトグラフィーの応用
- PS-089-1 血清を用いたCpG island methylator phenotype (CIMP)による予後評価への応用(PS-089 肝 基礎-1,ポスターセッション,第112回日本外科学会定期学術集会)
- PS-063-8 食道癌術後ARDS発症例の臨床背景と危険因子の検討(PS-063 食道 術後合併症,第112回日本外科学会定期学術集会)
- PS-001-7 食道癌術後サイトカインからみた術式による侵襲の低減化(PS-001 食道 鏡視下,ポスターセッション,第112回日本外科学会定期学術集会)
- エネルギーと大気汚染(環境にやさしいエネルギー)
- PS-041-7 切除不能・再発膵癌に対するGemcitabine併用MUC1-mRNA導入DC+MUC1-CTL療法の検討(PS-041 膵 免疫・化学療法,第112回日本外科学会定期学術集会)
- PS-039-6 当科における膵癌外科切除成績の向上を目指した治療戦略(PS-039 膵 周学的治療-3,第112回日本外科学会定期学術集会)
- SF-028-2 肝細胞癌に対するHSP70-mRNA導入DCs療法を用いた治療戦略(SF-028 サージカルフォーラム(28)肝 基礎-4,第112回日本外科学会定期学術集会)
- イオンクロマトグラフィーによる排ガス中窒素酸化物,硫黄酸化物及び塩化水素の迅速定量法
- イオンクロマトグラフィーによる徘ガス中窒素酸化物の迅速定量法
- コンポストの腐熟度判定への熱分解ガスクロマトグラフィーの応用
- ガスクロマトグラフィーによる窒素,酸素,一酸化窒素,一酸化二窒素,一酸化炭素,二酸化炭素,二酸化硫黄及び水の分離
- Air Pollution and Acid Rain in China