鈴木 作 | (株) 荏原製作所

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• 鈴木 作

  (株) 荏原製作所

• 藤井 敏昭

  (株)荏原総合研究所

• 藤井 敏昭

  (株)荏原製作所

• 藤井 敏昭

  (株) 荏原製作所

• 坂本 和彦

  埼玉大学大学院理工学研究科

• 鈴木 作

  (株)荏原総合研究所

• 横山 新

  広島大学ナノデバイス・システム研究センター

• 坂本 和彦

  埼玉大学大学院

• 横山 新

  広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

• 坂本 和彦

  埼玉大学工学部応用化学科

• 鈴木 作

  荏原総研

• 関口 和彦

  埼玉大学大学院理工学研究科

• 吉野 雄信

  半導体mirai-asrc-aist

• 広瀬 全孝

  産業技術総合研究所

• 藤井 敏昭

  荏原総合研究所

• 鈴木 作

  荏原総合研究所

• 廣瀬 全孝

  広島大学ナノデバイス・システム研究センター

• 吉野 雄信

  広島大学ナノデバイス・システム研究センター

• 関口 和彦

  埼玉大・院理工

• 坂本 和彦

  埼玉大・院理工

• 石谷 治

  埼玉大学大学院理工学研究科

• 坂本 和彦

  埼玉大

• 石谷 治

  埼玉大・院理工

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  日本板硝子(株)

• 吉野 雄信

  広島大 ナノデバイス・システム研セ

• 藤井 敏昭

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• 鈴木 作

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• 藤井 敏昭

  荏原総研

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  荏原総研

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  広島大学ナノデバイス ・ システム研究センター

• 鈴木 英友

  大岩機器工業所

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著作論文

• 光触媒を用いたUV/光電子法による密閉空間の超清浄化
• クリーンルームにおける空気清浄--UV/光電子法による局所空間の超クリーン化
• クリ-ンル-ム環境における汚染物の制御--UV/光電子法による超クリ-ン空間の創出
• クリーンルーム空気中の有機物による表面汚染
• 半導体搬送ボックスのUV/光電子法によるクリーン化とMOSデバイスへの影響
• 3K1030 光触媒による有機ガス除去機構の検討
• UV/光電子法によるガスと粒子の同時除去--局所空間の超クリ-ン化
• 光触媒とUV/光電子法によるガスと微粒子の同時除去
• クリーンルームにおけるガスと粒子の同時除去
• 300mmウエハ搬送ボックスのクリーン化--光触媒とUV/光電子法によるウエハ表面の汚染防止

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