単結晶シリコン表面/界面の制御技術

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 1996-07-10

著者

• 永瀬 雅夫

  Nttlsi研究所

• 国井 泰夫

  NTTLSI研究所

• 国井 秦夫

  Ntt物性科学基礎研究所

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