ワイドギャップ半導体シリコンカ-バイドのバルク単結晶成長
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概要
著者
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高橋 淳
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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大谷 昇
新日本製鐵株式会社先端技術研究所
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高橋 淳
新日本製鉄株式会社先端技術研究所
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金谷 正敏
新日本製鉄株式会社先端技術研究所
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金谷 正敏
新日本製鐵株式會社 技術開発本部先端技術研究所半導体基盤研究部
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勝野 正和
新日本製鐵株式會社 技術開発本部先端技術研究所半導体基盤研究部
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西川 猛
新日本製鐵(株)技術開発本部エレクトロニクス研究所
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大谷 昇
新日本製鐵(株)先端技術研究所
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