SiC単結晶成長技術

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2005-02-10

著者

• 大谷 昇

  新日本製鐵株式会社先端技術研究所

• 大谷 昇

  新日本製鐵(株)先端技術研究所

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