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Ntt System Electronics Laboratories | 論文
- 水晶振動子を用いたバイブロスキャニング法による非導電体の微細形状計測
- バイブロスキャニング法を用いた微細形状測定システムの開発
- 圧電センサを用いた共振型バイブロスキャン法の開発
- 軟X線多層膜と応用の現状(EUV基盤技術とその応用の現状)
- 31a-YM-6 Ni薄膜のM吸収端におけるファラデー効果
- バイブロスキャン微細穴形状測定装置の開発
- New Ellipsometric Approach to Critical Dimension Metrology Utilizing Form Birefringence Inherent in a Submicron Line-and-Space Pattern
- 5a-G-1 透過型多層膜を用いた軟X線偏光分光法 I
- 軟 X 線エリプソメトリー
- 軟X線ポラライザーの最前線
- 軟X線多層膜光学素子 -放射光科学への応用-
- 反射波面補正のためにイオンミリングした軟X線多層膜鏡の評価
- A Beam Drift Reduction Device for the X-Ray Mask E-Beam Writer, EB-X2
- Basic Characteristics of Beam Position Drift and Field Stitching Error Caused by Electron Beam Column Charging
- 軟X線顕微鏡用精密多層膜ミラーの開発
- Improving X-Ray Mask Pattern Placement Accuracy by Correcting Process Distortion in Electron Beam Writing
- Tantalum Dry-Etching Characteristics for X-Ray Mask Fabrication
- Simulation of X-Ray Mask Distortion
- Ta Film Properties for X-Ray Mask Absorbers : Lithography Technology
- Ta Film Properties for X-Ray Mask Absorbers