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金沢工業大学・高度材料科学研究開発センター | 論文
- 「つくる、評価する、考える」を実践するものづくり教育 -スパッタリング法による半導体薄膜作製・評価実験-
- 多層構造薄膜のナノインデンテーション法による評価 (特集/ニューガラス)
- プラズマ重合分子認識膜を有するQCMガスセンサ
- スパッタリング成膜における薄膜構造制御
- ポリイミド・ターゲットのスパッタリングによる薄膜作製
- ポリテトラフルオロエチレン/金属系多層薄膜における界面エネルギーの内部応力と硬さに与える影響
- 高周波マグネトロンスパッタリング法を用いた低誘電性有機薄膜の作製
- Al/TiN多層薄幕の微小押し込み硬さ試験によるエネルギー的解析
- タッチパネル用SnO_2:Nb透明導電性薄膜の作製とその評価
- 大気圧空気バリア放電における駆動周波数とバリア層の静電容量の比の適正化
- 大気圧バリア放電におけるコロナ-グロー混在状態の定量評価
- 多層膜の応力
- ポリイミドフィルムのスパッタリングにおける放電ガスへのN_2の添加効果
- スパッタリング用プラズマ
- TiスパッタリングにおけるTiのイオン分率
- 組成変調型多層構造薄膜における高強度化機構の実験的検証
- Al, Cu-TiN薄膜の押し込み試験における変形への多層化の影響
- 微小押し込み硬さ試験によるAl/TiNおよびCu/TiN二層薄膜の変形挙動の検討
- 二元交互スパッタリング法を用いたTiC-C系多層薄膜の作製
- 多層構造薄膜のナノインデンテーション