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独立行政法人 産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 | 論文
- 10pSD-3 TES型X線マイクロカロリメータのエネルギー分解能の追求(X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 28aSH-1 TES型X線マイクロカロリメータの性能向上を目指した基礎特性評価(28aSH X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 放射光による大面積微細加工システム(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- 放射光による大面積微細加工システム (特集 微細加工技術)
- ニュースバルの到達点
- 430 光強度分布X線マスクによる微細3次元加工の検討(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)
- 425 X線マスクの回転によるマイクロ構造体の傾斜面の形成(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)
- 強度分布制御によるSR 3次元加工の検討
- ホットエンボス成型による石英ガラス型を用いたホウケイ酸ガラスのマイクロ成型
- LIGAプロセスの三次元化とスパイラル型マイクロコイルの作製
- ウォーム成形技術のLIGAプロセスへの応用(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- 427 ウォーム成形技術を用いた立体マイクロコイルの開発
- B_2O_3-La_2O_3系ガラスに適したインプリント金型材料の研究
- Ni-W合金めっき膜を用いたガラスナノインプリント用金型
- FIBを用いたカーボン型の作製及びガラス材料のマイクロ・ナノ成形
- ガラス状炭素成形型のFIB加工とマイクロガラスレンズのモールド成形
- 24aZJ-2 一回反射型MEMS X線光学系の撮像実験(24aZJ X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 22pZJ-6 In-house製作によるTES型X線マイクロカロリメータの開発と性能評価(22pZJ X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 22pSH-10 半導体微細加工技術MEMSを用いた超軽量X線光学系の開発(1)(22pSH X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)
- 22pSH-11 半導体微細加工技術MEMSを用いた超軽量X線光学系の開発(2)(22pSH X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)