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東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター | 論文
- マイクロEDM旋盤の開発 (マイクロ・ナノメカトロニクス)
- マイクロ放電加工(マイクロ加工の最前線)
- マイクロ加工 : 機械系からのアプローチ (生研公開)
- 三次元マイクロ加工技術 (マイクロマシン: 基盤技術の充実と応用の展開の現状 第13回生研学術講演会)
- 3次元ナノ構造物評価用電子顕微鏡内原子間力顕微鏡の開発 (プロダクションテクノロジー)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製 (プロダクションテクノロジー)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製
- ナノメートルオーダの機械振動子の作製方法 (マイクロマシン)
- メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
- 加熱により作製したナノメートルオーダの振動子の形状変化と機械特性 (マイクロマシン)
- ナノメートルオーダの機械振動子の作成方法と特性測定 (先進プロダクションテクノロジー)
- めっきによるピーリング工具の作製と単発放電による除去の試み(第2報)
- MNM-2B-2 MEMSを用いたシリコン真実接触部変形のTEM実時間観察と摩擦力測定(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
- MNM-2B-1 MEMSを用いたDLC界面間におけるスティックスリップのTEMその場観察及び力計測(セッション 2B マイクロ・ナノトライボロジー)
- F-1 MEMS銀探針のナノせん断破壊に伴う界面変形の実時間TEM観測(マイクロナノ理工学)
- B-3 ホットスイッチングによるMEMSスイッチ表面におけるナノスケール形状変化の実時間観察(口頭発表:マイクロナノメカトロニクス)
- シリコンと金のナノスケール接触界面のリアルタイムTEM観察 (特集 Au/Si界面の科学)
- シリコンと金のナノスケール接触界面のリアルタイムTEM観察
- めっきによるピーリング工具の作製と単発放電による除去の試み(第3報)
- Four-Terminal Electrical Measurement of a DNA Molecular Bundle Captured by MEMS Tweezers