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東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター | 論文
- MEMSデバイスによるシリコンナノワイヤ熱伝導のTEM内測定
- MEMS技術による画像描画用光スキャナの小型化(環境と人にやさしい小型化・軽量化技術)
- 「MEMSとバイオ・ナノを融合した製造技術の産学連携研究」 : ―BEANSプロジェクトの構想と意義―
- 画像ディスプレィ用ハイパワー・ハンドリングMEMSスキャナ
- CMOS-First, MEMS-Last 型集積化法におけるMEMSポストプロセスの検討
- 表面科学とMEMS
- 2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ(宇宙探査・計測,及び一般)
- 光ファイバ内視鏡用光駆動MEMSスキャナシステム
- MEMS光可変減衰器のためのデバイス実装技術(MEMSパッケージングへ高まる期待)
- 非対称駆動平行平板型チルトミラーを用いたMEMS可変光減衰器
- C-3-105 シリコンマイクロマシニングによる 5V 駆動光可変減衰器
- プラズモン光学を応用したMEMS型可変色デバイスの検討
- 高密度光IC用ファイバアレイOPLEAF
- C-3-61 高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(2)(導波路デバイス(2),C-3.光エレクトロニクス,一般講演)
- C-3-30 光IC用高密度ピッチ変換光ファイバアレイ"OPLEAF"の開発(C-3. 光エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 非対称グレーティング回折格子による平面集積形光偏向機能素子
- 静電ワブルモータの解析
- MEMS-in-TEM実時間観察系によるPt, Ruナノワイヤの成長速度計測
- SOI基板上に作製したスプリットゲートMOS構造のコンダクタンス振動現象
- SOI基板上に作製したスプリットゲートMOS構造のコンダクタンス振動現象