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大阪府立大学大学院工学研究科電子物理工学 | 論文
- 新型マグネトロンプラズマによるレジストエッチング
- スピン偏極二次電子のモンテカルロシミュレーション
- 熱インプリント法におけるモールドの側壁ラフネスと離型性の関係
- 移植法によるリソグラフィレスマイクロマシン作製プロセスの開発
- リソグラフィを用いない新規なカンチレバー作製プロセス
- 新しい離型層を用いた付着法によるNiカンチレバーの作製
- イメージリバーサルレジストを犠牲層とした付着の少ない表面マイクロマシン作製プロセス
- 金属パターン移植法による横型カンチレバーの作製
- 付着を低減した新しいプロセスによるNiカンチレバーの作製とその機械特性
- 誘導結合型プラズマにおけるアンテナ電流とプラズマパラメータの関係
- GaAs/Al_xGa_As超格子の反射電子像の解析
- 誘導結合型プラズマにおける高周波電流測定の改善とその応用
- 新手法による誘導結合型プラズマのインピーダンス測定
- 単分子吸着したNi(111)表面のCr-Lα, Al-Kα線光電子回折における光源依存性
- 回折面アパーチャを用いた X 線光電子回折パターンの高角度分解能測定
- スピン偏極走査電子顕微鏡における磁区コントラストの解析
- Mott検出器の高感度化に関する研究
- Mott電子スピン編極検出器の性能解析
- 高分解能光リソグラフィを用いたNi横型フィールドエミッタアレイの試作