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古河機械金属 ナイトライド事業室 | 論文
- GaN自立基板を用いた縦型ダイオード(窒化物及び混晶半導体デバイス)
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- III-V族化合物半導体エピタキシャル膜製造装置の開発
- 高い熱電性能を有するSb系熱電変換材料の開発
- ハイドライド気相成長法による高品質GaN結晶の育成
- 顕微反射スペクトル測定によるGaN基板残留歪みの精密マッピング測定(窒化物半導体光・電子デバイス・材料,関連技術,及び一般)
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- 顕微反射スペクトル測定によるGaN基板残留歪みの精密マッピング測定
- 顕微反射スペクトル測定によるGaN基板残留歪みの精密マッピング測定
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- UVナノインプリントによって形成したナノチャンネルFIELO法による低転位GaNテンプレート基板作製の研究(有機デバイス・酸化物デバイス・一般)