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兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 | 論文
- 集束イオンビーム励起表面反応による化学気相成長法を用いた単一オルガネラ操作のためのバイオナノツールの作製と評価(ナノバイオ技術,次世代ナノテクノロジー論文)
- Large-Area X-ray Lithography System for LIGA Process Operating in Wide Energy Range of Synchrotron Radiation
- 「レーザーコンプトンガンマ線とその応用」特集号によせて
- 高繰り返しレーザープラズマ光源用ターゲット開発と実用化の歩み : Xeクライオジェニックターゲット供給法の展開
- 弾性表面波を用いた高効率連続流体駆動アクチュエータ
- 炭素粉末を含むセラミックスパネルの電磁波吸収特性
- J1101-1-1 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの作製(次世代アクチュエータシステム)
- 3203 マイクロコイルの作製と電磁型アクチュエータへの展開(J22-1 次世代アクチュエータシステム(1),ジョイントセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- 1301 電磁型マイクロアクチュエータの作製と評価(マイクロアクチュエータ,一般講演)
- 116 LIGAプロセスによる微細ラインマイクロコイルの作製(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
- 2902 3次元X線リソグラフィ及びメタライズによる円筒型コイルを用いた電磁駆動型アクチュエータの作製(J20-1 次世代アクチュエータシステム(1),J20 次世代アクチュエータシステム)
- シンクロトロン光による微細加工の現状とマイクロシステムへの応用
- ユビキタスデバイス実装技術研究会のご紹介(次世代のエレクトロニクス実装に向けた研究会活動の現状と今後)
- 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作
- 27aPS-5 フッ素含有ダイヤモンドライクカーボン薄膜の加熱温度依存性(領域5ポスターセッション,領域5,光物性)
- 機能性ダイヤモンドライクカーボン薄膜の光電子分光による評価
- 28pPSA-5 フッ素含有ダイヤモンドライクカーボン薄膜の電子状態(28pPSA 領域5ポスターセッション,領域5(光物性))
- 電磁型マイクロアクチュエータ用マイクロコイルの製作
- 1307 誘電体ナノ粒子を用いた小型静電容量式傾斜センサの開発(OS5/OS7-1 ライフサポート/マイクロメカトロニクス(1))
- 22aPS-11 水素含有ダイヤモンドライクカーボン薄膜の電子状態(22aPS 領域5ポスターセッション,領域5(光物性))