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(株)アルバック筑波超材料研究所 | 論文
- シリコン膜で表面を被覆したステンレス鋼のガス放出特性
- 極高真空用材料の真空特性
- 超高真空から極高真空まで使えるアルミニウム合金の表面処理アルピカ/ALpika (特集:表面技術最新情報)
- 真空材料からのガス放出
- TiN 成膜したステンレス鋼の水素透過特性 (II)
- 各種表面処理ステンレス鋼の昇温脱離特性
- XHVスループット装置を用いたステンレス鋼チェンバーからのガス放出特性
- TiN成膜したステンレス箔の水素透過特性評価
- 2A06 JT-60第一壁保護膜の開発
- MRAM(Magnetic Random Access Memory)高温エッチング技術の開発(新型不揮発性メモリー)
- 圧力計測・校正用極高真空装置の試作とそのガス放出特性
- 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるギャップ用AIN膜の作製
- 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるアルミナ膜の電気特性(II)
- 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法によるギャップ用AIN膜の作製
- 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法を用いたNiFe膜の電気特性
- 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法による極薄アルミナ膜の電気特性
- 誘導結合高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタを用いた極薄アルミナ膜の作製
- 誘導結合高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタ放電におけるイオンエネルギー分布
- 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法による極薄アルミナ膜電気特性
- 誘導結合rfプラズマ支援マグネトロンスパッタ法を用いたNiFe/Cu多層膜のGMR特性 (多層膜・人工格子・グラニューラー)