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(株)アルバック筑波超材料研究所 | 論文

• ICP支援スパッタ法を用いたNiFe/Cu多層膜のMR特性
• 誘導結合高周波プラズマ支援多元マグネトロンスパッタ法を用いたTiO_2/SiO_2多層膜の作製
• ARE(活性化反応性蒸着)法によるcBN膜(超硬質薄膜形成技術の新展開)
• 透明ガスバリアー膜の形成とその特性
• MPA (methylpyrrolidine alane)を用いたAl CVD技術
• シリコン-炭素成膜によるステンレス鋼の水放出速度低減化

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