吉田 鉄兵 | 名古屋大学大学院工学研究科
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概要
関連著者
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柴山 茂矢
名古屋大学大学院工学研究科
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柴山 茂久
名古屋大学大学院工学研究科
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吉田 鉄兵
名古屋大学大学院工学研究科
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名古屋大学大学院工学研究科
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田岡 紀之
名古屋大学大学院工学研究科
著作論文
- テトラエトキシゲルマニウムによる極薄GeO₂膜の形成 (シリコン材料・デバイス)
- テトラエトキシゲルマニウムによる極薄GeO_2膜の形成(高誘電率膜,界面制御,メモリ技術,ゲート絶縁薄膜,容量膜,機能膜及びメモリ技術)