Kawamura Kazuo | Fujitsu Ltd., 50 Fuchigami, Akiruno, Tokyo 197-0833, Japan

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概要

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• 同名の論文著者
• Fujitsu Ltd., 50 Fuchigami, Akiruno, Tokyo 197-0833, Japanの論文著者

関連著者

• KATAOKA Yuji

  Fujitsu Laboratories Ltd.

• KASE Masataka

  Fujitsu Ltd.

• KAWAMURA Kazuo

  Fujitsu Laboratories Ltd.

• Saiki Takashi

  Fujitsu Limited Advanced Lsi Development Div.

• Kawamura Kazuo

  Fujitsu Ltd., 50 Fuchigami, Akiruno, Tokyo 197-0833, Japan

• Inagaki Satoshi

  Fujitsu Ltd., 50 Fuchigami, Akiruno, Tokyo 197-0833, Japan

• Nakamura Ryo

  Fujitsu Ltd., 50 Fuchigami, Akiruno, Tokyo 197-0833, Japan

• Kataoka Yuji

  Fujitsu Laboratories, 10-1 Morinosato Wakamiya, Atsugi, Kanagawa 243-0197, Japan

著作論文

• Dependence of Sheet Resistance of CoSi2 with Gate Length of 30 nm on Thickness of Titanium Nitride Capping Layer in Co-Salicide Process

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