川島 由嗣 | NECエレクトロニクス(株)

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概要

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• NECエレクトロニクス(株)の論文著者

関連著者

• 小田 典明

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 隣 真一

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 窪田 壮男

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 中尾 慎一

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 冨岡 和弘

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 曽田 栄一

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 中村 直文

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

• 野川 潤

  NECエレクトロニクス(株)

• 川島 由嗣

  NECエレクトロニクス(株)

• 林 遼

  NECエレクトロニクス(株)

• 斎藤 修一

  株式会社半導体先端テクノロジーズ

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著作論文

• 短TATシリル化ポーラス・シリカ(k=2.1)を用いた32nmノード対応Ultralow-k/Cuデュアルダマシン配線技術(配線・実装技術と関連材料技術)

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