坂西 光一郎 | 北見工業大学電気電子工学科:(現)日立製作所

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概要

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• 同名の論文著者
• 北見工業大学電気電子工学科:(現)日立製作所の論文著者

関連著者

• 武山 真弓

  北見工業大学電気電子工学科

• 野矢 厚

  北見工業大学工学部電気電子工学科

• 坂西 光一郎

  北見工業大学工学部 電気電子工学科

• 坂西 光一郎

  北見工業大学電気電子工学科:(現)日立製作所

• 武山 真弓

  北見工業大学工学部電気電子工学科

• 武山 真弓

  北見工業大学

• 野矢 厚

  北見工業大学

• 佐々木 克孝

  北見工業大学

• 佐々木 克孝

  北見工業大学工学部機能材料工学科

• 野矢 厚

  北見工業大学電気電子工学科

• 篭味 慎也

  北見工業大学工学部電気電子工学科

• 関 光

  北見工業大学工学部 電気電子工学科:(現)富士通

• 柳沢 英人

  北見工業大学工学部能材料工学科

• 柳沢 英人

  北見工業大学

• 池田 望

  北見工業大学工学部 電気電子工学科

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著作論文

• SiO2 上の Cu 配線に対する Zr 及び ZrN 拡散バリア特性の検討
• ZrN薄膜の低温プロセスにおける作製
• Cu/(Hf or HfN)/SiO_2/Si構造における界面反応の検討
• Cuメタライゼーションにおける低温で作製されたZrN薄膜の拡散バリヤ効果
• Cu/Siコンタクト系におけるCu-Zrアモルファス合金膜の適用とZr系拡散バリヤの検討

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