藤井 邦宏 | ルネサスエレクトロニクス株式会社

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概要

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関連著者

• 宇佐美 達矢

  Necエレクトロニクス株式会社

• 三浦 幸男

  ルネサスエレクトロニクス株式会社

• 宇佐美 達矢

  ルネサスエレクトロニクス株式会社

• 小林 千香子

  ルネサスエレクトロニクス株式会社

• 永野 修次

  大陽日酸株式会社

• 大音 光市

  ルネサスエレクトロニクス株式会社

• 清水 秀治

  大陽日酸株式会社

• 加田 武史

  株式会社トリケミカル研究所

• 大平 達也

  株式会社トリケミカル研究所

• 藤井 邦宏

  ルネサスエレクトロニクス株式会社

• 大音 光市

  Necエレクトロニクス株式会社先端プロセス技術事業部

• 藤井 邦宏

  Necエレクトロニクス株式会社プロセス技術部

• 清水 秀治

  東京大学大学院工学系研究科:大陽日酸株式会社

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著作論文

• 新プリカーサーを用いた低透水性バリアLow-k SiC膜(k
• 新プリカーサーを用いた低透水性バリア Low-k SiC 膜(k

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