尾崎 成則 | 東京エレクトロンat(株)

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概要

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• 同名の論文著者
• 東京エレクトロンat(株)の論文著者

関連著者

• 尾崎 成則

  東京エレクトロンat(株)

• 中西 敏雄

  東京エレクトロンat Spa開発技術部

• 西田 辰夫

  東京エレクトロンAT SPA開発技術部

• 佐藤 吉宏

  東京エレクトロンAT株式会社

• 松山 征嗣

  東京エレクトロンAT株式会社

• 尾崎 成則

  東京エレクトロンAT株式会社

• 北川 淳一

  東京エレクトロンat(株)

• 古井 真悟

  東京エレクトロンat(株)

• 小林 岳志

  東京エレクトロンAT(株)

• 古井 慎吾

  東京エレクトロンAT(株)

著作論文

• RLSAを用いた酸窒化プロセスによる極薄膜ゲート絶縁膜形成
• RLSAを用いた酸窒化プロセスによる極薄膜ゲート絶縁膜形成(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
• SPAを用いたラジカル酸化プロセスの応用 : ポリシリコン上直接酸化(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
• RLSAを用いたラジカル酸化プロセスによる絶縁膜形成 : 低温ラジカル酸化膜の特性評価(プロセスクリーン化と新プロセス技術)

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