北川 淳一 | 東京エレクトロンat(株)

スポンサーリンク

概要

• 北川 淳一の詳細を見る
• 同名の論文著者
• 東京エレクトロンat(株)の論文著者

関連著者

• 北川 淳一

  東京エレクトロンat(株)

• 尾崎 成則

  東京エレクトロンat(株)

• 古井 真悟

  東京エレクトロンat(株)

• 小林 岳志

  東京エレクトロンAT(株)

• 古井 慎吾

  東京エレクトロンAT(株)

著作論文

• SPAを用いたラジカル酸化プロセスの応用 : ポリシリコン上直接酸化(プロセスクリーン化と新プロセス技術)
• RLSAを用いたラジカル酸化プロセスによる絶縁膜形成 : 低温ラジカル酸化膜の特性評価(プロセスクリーン化と新プロセス技術)

スポンサーリンク