三宅 潔 | (株)日立製作所 電力・電機開発本部
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概要
関連著者
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三宅 潔
(株)日立製作所日立研究所
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(株)日立製作所日立研究所
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(株)日立製作所日立研究所研究員
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(株)日立製作所中央研究所
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高橋 宏昌
(株)日立製作所 基礎研究所
著作論文
- イオンビームデポジション法による 高耐食・高純度鉄薄膜の形成
- イオンビ-ムデポジション(IBD)法による高純度金属薄膜作製技術の開発
- イオンビームデポジション技術の進展と高耐食性鉄膜作製
- イオンビームデポジション法による高品位金属薄膜の作製
- IBD法によりさびない鉄薄膜を実現