イオンビームデポジション技術の進展と高耐食性鉄膜作製

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概要

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• 日本真空協会の論文
• 1998-11-20

著者

• 三宅 潔

  (株)日立製作所日立研究所

• 三宅 潔

  (株)日立製作所 電力・電機開発本部

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