三宅 潔 | (株)日立製作所日立研究所

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• 三宅 潔

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• 伊藤 修

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• 大橋 健也

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• 伊藤 修

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• 高橋 宏昌

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著作論文

• イオンビームデポジション法による 高耐食・高純度鉄薄膜の形成
• イオンビ-ムデポジション(IBD)法による高純度金属薄膜作製技術の開発
• イオンビームデポジション技術の進展と高耐食性鉄膜作製
• イオンビームデポジション法による高品位金属薄膜の作製
• IBD法によりさびない鉄薄膜を実現

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