山下 睦雄 | 大阪電気通信大学工学部
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概要
関連著者
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山下 睦雄
大阪電気通信大学工学部
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月出 修
大阪電気通信大学
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月出 修
大阪電通大
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山西 斉
大阪電気通信大学工学部
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加々見 丈二
大阪電気通信大学工学部
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小川 潔
大阪電気通信大学工学部
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安藤 伸一
大阪電気通信大学工学部
-
月出 修
大阪電気通信大学工学部
著作論文
- コイルターゲット型高周波スパッタ装置の試作
- 高波放電プラズマを利用した高速スパッタ装置
- (5) 高周波スパッタイオン源の金属薄膜作製への応用(主題「スパッタ法による薄膜の作製・評価と素材」)(特定テーマシンポジウム)(素材工学研究会記事)
- スパッタ粒子のエネルギ-制御(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 誘導結合型高周波スパッタリング装置による窒化チタン膜の作成(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 高周波放電コイルをもったスパッタ装置の諸特性
- 高周波無電極放電によるスパッタリング方式 (III)
- 高周波無電極放電によるスパッタリング方式 (II)
- イオン衝撃加熱による蒸着装置の試作
- 蒸着チタン薄膜の電気的特性 : 蒸着条件との関連において
- スパッタ粒子のエネルギ-制御(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 誘導結合型高周波スパッタリング装置による窒化チタン膜の作成(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)