高周波無電極放電によるスパッタリング方式 (II)
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概要
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(1) 本方法によるスパッタは, マグネットを使用しない場合でも, ターゲットの電流密度を大きくすることができるため, Fe, Ni等の強磁性体の材料に対しても高速スパッタが可能となった.また, 非磁性体に対しては, マグネトロン型と組み合わせることにより, 更にスパッタ速度を高める可能性がある.<BR>(2) プラズマ遮蔽用ネットによって, プラズマをスパッタ室内に閉じ込め, プラズマ濃度を高めてスパッタ速度を高めると共に, 基板温度上昇も充分おさえられ, プラスチック基板上へのスパッタも可能となった.
- 日本真空協会の論文
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