高周波無電極放電によるスパッタリング方式 (III)
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概要
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i) 高周波コイルを直流的に接地するとプラズマ空間から多量の電子がコイルによって奪われ, プラズマの電位は100V程度まで上昇する.<BR>ii) プラズマの濃度は高周波電力に比例することが推測される.<BR>iii) 通常のスパッタ条件 (<I>P<SUB>Ar</SUB></I>=1×10<SUP>-2</SUP>Torr, <I>P<SUB>RF</SUB></I>=500<I>W</I>) のもとでは高周波負荷インピーダンスは600Ω程度の純抵抗となり, アルゴンガス圧力及び高周波電力には殆んど依存しない.しかしながら, 圧力が10<SUP>-3</SUP>Torrの領域になるか, あるいは高周波電力が200<I>W</I>以下になるとインピーダンスは急激な上昇を示すようになる.
- 日本真空協会の論文
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