山西 斉 | 大阪電気通信大学工学部

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概要

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• 同名の論文著者
• 大阪電気通信大学工学部の論文著者

関連著者

• 山下 睦雄

  大阪電気通信大学工学部

• 山西 斉

  大阪電気通信大学工学部

著作論文

• スパッタ粒子のエネルギ-制御(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
• 誘導結合型高周波スパッタリング装置による窒化チタン膜の作成(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)

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