竹中 卓夫 | 信越半導体
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概要
関連著者
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竹中 卓夫
信越半導体(株)
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竹中 卓夫
信越半導体
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水野 亨彦
信越半導体
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牛尾 聡
信越半導体(株)
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牛尾 聡
信越半導体
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竹中 卓夫
信越半導体(株)半導体磯部研究所物性研究部
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竹野 博
信越半導体(株)
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水島 一寿
信越半導体(株)
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速水 善範
信越半導体
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北川原 豊
信越半導体(株)
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能登 宣彦
信越半導体 (株) 半導体磯部研究所
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津田 信博
信越半導体(株)半導体磯部研究所物性研究部物性第二研究室
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浅子 喜一郎
信越半導体(株)半導体磯部研究所物性研究部物性第二研究室
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相原 健
信越半導体(株)半導体磯部研究所
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安富 敬三
信越半導体 (株) 半導体磯部研究所
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相原 健
信越半導体(株)
著作論文
- ボロンドープ低抵抗率シリコンウェーハの酸素析出新評価法
- シリコンウェーハに施されたゲッタリング手法の能力評価
- シリコン単結晶の不純物制御 - 不純物制御と極微量分析 -
- MOVPE法によるAlGaInP高輝度可視発光ダイオード
- 赤外干渉法によるCZ-Si結晶中各種欠陥の評価