竹中 卓夫 | 信越半導体(株)

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• 竹中 卓夫

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• 水野 亨彦

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• 牛尾 聡

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• 竹野 博

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• 水島 一寿

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• 速水 善範

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• 北川原 豊

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• 能登 宣彦

  信越半導体 (株) 半導体磯部研究所

• 津田 信博

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• 浅子 喜一郎

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• 相原 健

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• 安富 敬三

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• 相原 健

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著作論文

• ボロンドープ低抵抗率シリコンウェーハの酸素析出新評価法
• シリコンウェーハに施されたゲッタリング手法の能力評価
• シリコン単結晶の不純物制御 - 不純物制御と極微量分析 -
• MOVPE法によるAlGaInP高輝度可視発光ダイオード
• 赤外干渉法によるCZ-Si結晶中各種欠陥の評価

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