シリコン単結晶の不純物制御 - 不純物制御と極微量分析 -

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概要

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• 日本化学会の論文
• 1994-05-01

著者

• 竹中 卓夫

  信越半導体(株)

• 津田 信博

  信越半導体(株)半導体磯部研究所物性研究部物性第二研究室

• 竹中 卓夫

  信越半導体(株)半導体磯部研究所物性研究部

• 竹中 卓夫

  信越半導体

• 浅子 喜一郎

  信越半導体(株)半導体磯部研究所物性研究部物性第二研究室

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