相原 健 | 信越半導体(株)半導体磯部研究所

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関連著者

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著作論文

• CZシリコン結晶中酸素析出挙動の計算機シミュレーション : バルク成長シンポジウム
• 赤外干渉法によるCZ-Si結晶中各種欠陥の評価

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