南 洋一 | リソテックジャパン(株)

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概要

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• 関口 淳

  リソテックジャパン

• 南 洋一

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• 松澤 敏晴

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• 門井 幹夫

  リソテックジャパン(株)

• 扇子 義久

  リソテックジャパン(株)

• 磯野 麻里子

  リソテックジャパン(株)

• 松澤 敏晴

  (株)テクノフロント

• 武澤 亨

  (株)東北中谷

• 宮川 久行

  (株)東北中谷

• 南 洋一

  ゼネラルシグナルジャパン

• 関口 淳

  ゼネラルシグナルジャパン

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著作論文

• ホトリソグラフィ用化学増幅レジストのシミュレーションパラメータの推算
• 厚膜レジストにおける実測溶解速度を用いたプロキシミティ・リソグラフィ・シミュレーションの検討
• P.E.B.プロセスにおけるホトレジストの感光剤の拡散長の推算
• ホトレジスト現像パラメータ測定システムの開発
• ホトレジストの感光パラメータ(A,B,C)測定装置の開発
• ホトリソグラフィにおける実測溶解速度を用いたデフォーカスシミュレーションの検討

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