扇子 義久 | リソテックジャパン(株)

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概要

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関連著者

• 関口 淳

  リソテックジャパン

• 扇子 義久

  リソテックジャパン(株)

• 南 洋一

  リソテックジャパン(株)

• 松澤 敏晴

  リソテックジャパン(株)

• 三宅 康宏

  リンテックジャパン株式会社

• 門井 幹夫

  リソテックジャパン(株)

• 磯野 麻里子

  リソテックジャパン(株)

• 扇子 義久

  リンテックジャパン株式会社

• 関口 淳

  リンテックジャパン株式会社

• 三宅 康宏

  リソテックジャパン株式会社

著作論文

• 厚膜レジストにおける実測溶解速度を用いたプロキシミティ・リソグラフィ・シミュレーションの検討
• P.E.B.プロセスにおけるホトレジストの感光剤の拡散長の推算
• 厚膜レジストにおける現像方法の違いによる解像性の検討(電子材料)
• 厚膜レジストの高解像化に関する検討
• 厚膜レダストにおけるプリベーク条件が解像性に与える影響(電子材料)

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