沼田 乾 | 日本テキサスインスツルメンツ(株)、ulsi技術開発センター
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概要
関連著者
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福田 幸夫
(株)テキサスインスツルメンツ筑波研究開発センター
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青木 克裕
(株)テキサスインスツルメンツ筑波研究開発センター
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沼田 乾
日本テキサスインスツルメンツ(株)、ulsi技術開発センター
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Okuno Yasutoshi
Lsi Manufacturing Technology Unit Wafer Process Engineering Development Division Renesas Technology
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松下電器産業(株)
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西村 明俊
(株)日本テキサスインスツルメンツULSI技術開発センター
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Okuno Yasutoshi
ULSI Process Technology Development Center, Semiconductor Company, Matsushita Electronics Corp., 19, Nishikujo-kasuga cho, Minami-ku, Kyoto 601-8413, Japan
著作論文
- Ba_xSr_TiO_3薄膜の電気特性と下部電極Pt/TiにおけるTi厚との相関
- セルキャパシター誘電体としてのBa_xSr_TiO_3が有する21世紀のDRAMに対する影響 : DRAMセルキャパシター構造の簡略化を指向した高誘電体薄膜の開発